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2018
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分子增壓泵應該用實例
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【概要描述】1.中科院近代物理研究所:重離子加速器大流量差分系統(2006年)2006年,采用二臺MB200B分子增壓泵,成功取代當時最清潔的中真空機組:ZJ-600羅茨泵+液氮冷阱,世界上首次攻克重離子加速器大流量差分系統的油蒸汽污染難題,顯著提高加速器的分析精度,節省設備費用5萬元,節省抽氣能耗90%,為我國加速器領域趕超國際先進水平作出了重要貢獻。?該項成果在2007年STOCKHOLM第17屆國際真空
1.中科院近代物理研究所:重離子加速器大流量差分系統(2006年)
2006年,采用二臺MB200B分子增壓泵,成功取代當時最清潔的中真空機組: ZJ-600羅茨泵+液氮冷阱,世界上首次攻克重離子加速器大流量差分系統的油蒸汽污染難題,顯著提高加速器的分析精度,節省設備費用5萬元,節省抽氣能耗90%,為我國加速器領域趕超國際先進水平作出了重要貢獻。
該項成果在2007年STOCKHOLM第17屆國際真空會議上發表后,獲得了國際加速器專家的高度重視。
本項目獲得2007年國家自然科學基金資助(項目批號:10675152)。
2.中科院等離子體物理研究所:人造小太陽試驗裝置(2007年)
MB200D分子增壓泵用于人造小太陽試驗裝置。抽氣流量、運行可靠性等主要技術指標明顯超過該研究所在用的進口和國產分子泵和羅茨泵。
3.清華科技園:深圳市力合薄膜科技有限公司
采用二臺MB200D分子增壓泵,取代連續鍍膜生產線進片系統的2臺F-250分子泵+1臺ZJ-1200羅茨泵+1臺ZJ-300羅茨泵,取得了消除進片階段油蒸汽污染,顯著提高鍍膜產品質量,設備費用降低5萬元,節能80%,年節電8萬度的優異成績。
本項成果展示了分子增壓泵在大型連續鍍膜設備領域,取代羅茨泵和分子泵的廣闊市場前景。
本項目獲得2008年廣東省產學研基金資助。
4.大型蒸發鍍膜設備(深圳振恒昌實業)
采用4臺MB200D分子增壓泵(4,000L/s)用于取代大型蒸發鍍膜設備2臺K-800擴散泵(24,000L/s)+1臺ZJ-1200羅茨泵(1,200L/s),取得了節省抽氣能耗90%,年節電30萬度/臺,消除膜層泛黃和結合力差的現象,4個月節省的電費可收回增加設備費用的好成績。
二臺K-800擴散泵的總抽速已超過目前市場最大的KT-1000擴散泵。因此,本項成果已表明:大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經指日可待。
本項目獲得了2008年深圳市產學研基金資助。
5.恒基鍍膜(深圳)有限公司(港資)
采用3臺MB-200D分子增壓泵取代磁控濺射鍍膜設備的1臺K-500擴散泵和1臺ZJ-300羅茨泵,節省抽氣能耗80%,每臺煉爐節省電能8萬度/年,1年節省的電費可收回改造費用。用于新設備改造,8個月節省的電費可收回增加的設備費。
6.浙江英洛華磁業有限公司
采用3臺MB-200B分子增壓泵取代1臺KT-400擴散泵和1臺ZJ-600羅茨泵,節省抽氣能耗91%,每臺熔煉爐(30kg)節省電能4.5萬度/年,2年節省的電費可收回改造費用。用于新添設備,1年節省的電費可收回增加的設備費。
7.磁控濺射、陰極電弧鍍膜設備(東莞××五金廠,港資)
采用3臺MB-200D分子增壓泵(3,000L/s)取代磁控濺射和陰極電弧鍍膜設備的2臺F-400分子泵(7,000L/s)和1臺ZJ-300羅茨泵(300L/s),取得了節省設備費用4萬元,節省抽氣能耗60%,年節電3.5萬度/臺,消除粗抽階段油蒸汽污染,并消除了分子泵易發生打片損壞的一大缺陷。
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